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真空热处理技术也是一项十分处理工艺，但它跟TD处理相比还是有区别的，当然其自身也具有一系列突出的优点，包括良好的防氧化的作用；并有还原除锈作用，节省了工件的粗加工工序。这样一来，不仅能节约材料的消耗，还能降低产品的成本。

真空热处理具有真空脱气、脱脂作用但并无氢脆危险，防止工件材料难熔金属的表面脆化，提高材料表面纯度和各项性能的有效措施。主要是因为真空热处理具有淬火变形小的特点，可减少常规淬火变形的校正应力存在，降低工件使用过程中断裂的可能性，延长其使用寿命。
另外，它还有良好的稳定性和重复性，一旦工艺确定，只要输入工艺程序，热处理操作将自动运行。避免咯额常规热处理工艺不稳定造成的质量波动，是一种真正的安全、无污染、节能的理想操作技术。